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日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備
簡要描述：

日本ULVAC愛發(fā)科NE-5700/NE-7800半導體干法刻蝕設備
日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備

  • 產品型號：NE-5700/NE-7800
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2024-11-25
  • 訪  問  量：195

詳細介紹

日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備

日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備



批量生產的干法刻蝕設備NE-5700/NE-7800

適合量產的NE-5700/NE-7800干法刻蝕設備是一款可擴展的刻蝕設備，支持從一個腔室到多個腔室，強調性價比。


特征

  • 除1個腔體外，還可配備磁場ICP（ISM）、NLD等離子體源、灰化腔體、CCP腔體，兼容多種刻蝕工藝。

  • 配備星形電極和各種溫度控制功能，可實現過程的再現性和穩(wěn)定性。

  • 易于維護的結構，停機時間最短，全面的備份系統(tǒng)，包括再生清潔、零件供應、維護和培訓服務。

  • 半導體技術研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。

目的

  • 化合物（LED、LD、高頻器件）和功率器件（IGBT 布線加工、SiC 加工）。

  • 用于金屬布線、層間絕緣膜（樹脂類）、柵電極加工工序。

  • 用于蝕刻鐵電材料和貴金屬。

  • 用于加工磁性材料。

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