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日本進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵
簡(jiǎn)要描述：

日本進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科UR421-T/UR600/UR1200多級(jí)羅茨干式真空泵
日本進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：UR421-T/UR600/UR1200
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時(shí)間：2024-11-25
  • 訪  問(wèn)  量：180

詳細(xì)介紹

日本進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵

日本進(jìn)口ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨干式真空泵


通過(guò)在高溫范圍內(nèi)均勻加熱泵體，
泵能夠?qū)VD、蝕刻等過(guò)程中產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。

特征


  • 可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD、蝕刻等中產(chǎn)生的升華廢氣以氣態(tài)排出。
    UR系列可以達(dá)到比HR系列更高的溫度。


  • 配備氦氣密閉電機(jī)，密封結(jié)構(gòu)，安全性高

  • 瞬時(shí)停電對(duì)策：
    實(shí)施1000msec以內(nèi)的瞬時(shí)停電對(duì)策。

  • 優(yōu)異的耐腐蝕性
    主要部件采用特殊表面處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異。當(dāng)腐蝕性氣體排出時(shí)，減少泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通訊功能：
    可以讀取與泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/報(bào)警歷史相關(guān)的數(shù)據(jù)。通過(guò)使用專用軟件并與計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

目的

  • 化學(xué)氣相沉積設(shè)備

  • 蝕刻設(shè)備

  • 灰化裝置

  • 酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

規(guī)格

模型UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵數(shù)據(jù)恢復(fù)計(jì)劃
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
MBP-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大抽速　　410 立方米/小時(shí)
（6833 升/分鐘）		653 立方米/小時(shí)
（10883 升/分鐘）		1012 立方米/小時(shí)
（16867 升/分鐘）		1701 立方米/小時(shí)
（28350 升/分鐘）		2700立方米/小時(shí)
（45000升/分鐘）
極限壓力
5.0帕
最大入口壓力
（吸入壓力）		大氣壓*1
最大排氣口壓力
（排出壓力）		1~大氣壓Pa
進(jìn)氣口（CE規(guī)格）VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)

VG150

排氣口VG50
西北40
西北50
大量的415公斤370公斤403公斤553公斤720公斤
電力三相180-240VAC/
380-440VAC
（50/60Hz）		200VAC(50/60Hz) /220VAC(60Hz)180-240VAC/
380-440VAC
（50/60Hz）
當(dāng)前值穩(wěn)定狀態(tài)23A（200V 時(shí)）16.4A（200V 時(shí)）18.9A（200V 時(shí)）29.2A（200V 時(shí)）
20.5A（400V 時(shí)）		39.8 A（200V 時(shí)）
20.5 A（400V 時(shí)）
最大值52.5A（200V 時(shí)）17.3A（200V 時(shí)）22.4A（200V 時(shí)）34.9 A（200V 時(shí)）
40.5 A（400V 時(shí)）		68.3 A（200V 時(shí)）
40.5 A（400V 時(shí)）
冷卻水暫壓0.2~0.5兆帕0.1~0.3兆帕0.2~0.5兆帕
冷卻水進(jìn)出水壓差>0.2兆帕>0.1兆帕>0.1兆帕>0.1兆帕>0.2兆帕
冷卻水流量>5.0升/分鐘
吹掃氣體一次壓力0.1~0.5兆帕
二次壓力0.05~0.1兆帕
氮?dú)?/span>吹掃軸5 可持續(xù)發(fā)展管理
加斯巴拉0~195 SLM0~45SLM0~195 SLM0~195 SLM

*1 請(qǐng)勿在吸入壓力為 200Pa 或更高的情況下連續(xù)運(yùn)行 UR600、UR1200、UR1800 和 UR3601-TT。
*對(duì)于規(guī)格表中未列出的UR系列的訂單，請(qǐng)單獨(dú)檢查。




■駕駛模式

駕駛方式123
氮?dú)?/span>流量可持續(xù)發(fā)展管理055~50 *1

訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)注明驅(qū)動(dòng)方式。 （UR系列的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定：3）
*1 UR421-T、UR3601-TT的N2流量為5～200SLM。


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